山东天岳先进科技股份有限公司申请了一项名为“一种长晶炉压力控制器自动修复系统及方法”的专利，该专利已于 2024 年 3 月提交申请，公开号为 CN202410345518.2。
该系统属于碳化硅生长和外延技术领域，包含以下组件：工控计算机、控制扩展模块、截止阀、真空泵和压力控制器接口。控制扩展模块连接工控计算机、截止阀和真空泵。截止阀一端与大气相通，另一端通过气体管路与压力控制器接口相连。压力控制器通过另一条气体管路与真空泵相连。气体管路上安装有压力传感器，该传感器连接压力控制器接口。压力控制器接口连接压力控制器。
工控计算机向压力控制器发送磨合指令，在磨合完成后验证压力控制器的密封性，然后进行压力控制器参数配置修复。
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