据合肥芯碁微电子装备股份有限公司天眼查知识产权信息显示，该公司已获得一项名为“一种用于 LDI 直写曝光机的自适应分区吸盘”的专利，授权公告号为 CN221149145U，申请日期为 2023 年 10 月。
专利摘要中指出，本实用新型属于 LDI 直写曝光机领域，具体涉及用于 LDI 直写曝光机的一种自适应分区吸盘，由吸盘本体、吸盘底板和吸盘垫组成。
吸盘本体设有多个吸附孔，每个吸附孔内均安装有逻辑阀。吸盘本体与吸盘底板之间形成一个吸附真空腔。在抽真空时，未被电路板覆盖的逻辑阀会自动闭合，形成密封通道。而被电路板覆盖的逻辑阀可使吸附孔内的压力持续低于吸盘本体外部，利用此压力差吸附电路板。
该吸盘使任意尺寸的电路板都可以在任意区域被吸附和定位，无需专门定制，大大减少了工作量，实现了产品的标准化。
由于无需针对各种非标准尺寸进行定制设计，因此显著降低了设计、加工和集成成本。其高度自适应的特性使得量产变得轻而易举，进一步降低了生产成本。
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